追溯變壓吸附制氧技術起源，其實中國算較早進行研發的了，20世紀70年代是中國PSA分離空氣制氧技術發展的鼎盛時期。全國有十幾個單位相繼開展了變壓吸附制氧技術的實驗研究，建立了數套工業試驗設備。

這個時期開發的變壓吸附制氧設備大多采用高于大氣壓吸附、常壓解吸流程，吸附塔有兩個到四個；空氣進入吸附塔前，經過脫水預處理；設備可靠性差，不能連續穩定運行，導致大部分設備報廢；且技術、經濟指標落后。

20世紀80年代，中國變壓吸附制氧技術的開發再次進入低谷。

1995年，昆山錦滬機械有限公司在河南洛陽鋼鐵廠建成VPSAO1000Nm3/h制氧機，標志著變壓吸附在中國正式進入工業領域，也標志著變壓吸附在中國進入高速發展時期。

20世紀90年代是中國變壓吸附制氧技術突飛猛進向前發展的時期，變壓吸附制氧技術逐漸成熟，甚至有很多綜合技術經濟指標已經接近國外先進水平。中國變壓吸附制氧技術已經走出實驗室步入實用化階段，并通過不斷地研究與開發，呈現出日新月異的發展態勢。不過從整體上看，中國制氧機在很多方面與國際先進水平仍有一定的差距。如在新型高性能的吸附劑的研究、吸附流程的改進、理論分析研究和數學模型的建立，質量監控與自動化控制等許多方面。